홈 제품소개 PUMP RACK
 
 
 
반도체설비의 Chamber 내부를 진공 상태로 만드는 Vacuum Pump 및 관련된 모든 Accessory를 Package화 하여 용이하게 설치할 수 있습니다. 또한 분해조립이 간편하고 Pump Stage 형태 변경이 가능하여 라인별, 공정별 적용이 가능합니다.
 
Pump의 구성 (CH) 1CH, 2CH, 3CH, 4CH, 5CH (1+2CH, 1+3CH,1+4CH 등 CH 조합이 가능)
Main Power (A) 50A, 75A, 100A, 125A, 150A, 170A, 200A, 250A
Fore Line Size NW25, NW40, NW50, NW60, NW80, NW100, NW125,
MF60, MF80, MF100, MF125, MF160, MF200
Gate Valve 모든 Gate Valve 사의 Manual, Auto, Protection Valve적용 가능
Utility
(PCW, N2,Ar)
1/4” ~ 1” 사용
Hot-N2 적용 가능
Hot Gun 적용 가능
Heating Jacket 적용 가능
Silence 적용 가능
 
 
 
 
 
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