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| 반도체설비의 Chamber 내부를 진공 상태로 만드는 Vacuum Pump 및 관련된 모든 Accessory를 Package화 하여
용이하게 설치할 수 있습니다. 또한 분해조립이 간편하고 Pump Stage 형태 변경이 가능하여 라인별, 공정별 적용이 가능합니다. |
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| Pump의 구성 (CH) |
1CH, 2CH, 3CH, 4CH, 5CH
(1+2CH, 1+3CH,1+4CH 등 CH 조합이 가능) |
| Main Power (A) |
50A, 75A, 100A, 125A, 150A, 170A, 200A, 250A |
| Fore Line Size |
NW25, NW40, NW50, NW60, NW80, NW100, NW125, |
| MF60, MF80, MF100, MF125, MF160, MF200 |
| Gate Valve |
모든 Gate Valve 사의 Manual, Auto, Protection Valve적용 가능 |
Utility
(PCW, N2,Ar) |
1/4” ~ 1” 사용 |
| Hot-N2 |
적용 가능 |
| Hot Gun |
적용 가능 |
| Heating Jacket |
적용 가능 |
| Silence |
적용 가능 |
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